Impact - Technologie de construction
La technologie de mesure IMPACT représente une grande avancée dans le domaine des sondes de pression hautes températures utilisées dans les procédés de fabrication et de transformation du plastique (MELT). Cette solution innovante utilise un principe piézorésistif qui évite d’avoir besoin de fluides de transmission, en mesurant directement la déformation mécanique d'un élément en silicium piézorésistif en réponse aux changements de pression.
L'élément sensible est une puce SOI positionnée à l'intérieur d'une cavité carrée sur un support céramique, assurant une transmission optimale de la charge grâce à une précharge mécanique entre le diaphragme de mesure en silicium et le diaphragme de contact externe. Ce concept de capteur « flottant » élimine l'utilisation de matériaux supplémentaires souvent nécessaires dans les technologies de collage des puces. La contrainte induite par la déflexion du diaphragme de mesure est détectée par des piézorésistances positionnées au-dessus du diaphragme lui-même et reliées selon une configuration en pont de Wheatstone.
Capteurs de pression de la série Impact
L'extrême robustesse de la zone en contact avec le procédé permet d'utiliser IMPACT avec des fluides visqueux acides ou abrasifs à haute température. La conception compacte du segment de transfert de la contrainte mécanique permet une utilisation dans des conditions de pression variable.